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MT-52
MFC供給電源±15V
外部制御機能付き
MT-52-2J
MFC供給電源±15V
外部制御機能付き
2台用
MT-52-3J
MFC供給電源±15V
外部制御機能付き
3台用
MT-52-4J
MFC供給電源±15V
外部制御機能付き
4台用
MT-51
瞬時流量と積算流量を同時表示が可能
（RS 485 / RS 232 Modbus
RTUプロトコル）
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