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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?
2020.04.28
(1)质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?
        质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。
(2)如何选择密封材料?
       通常气体质量流量控制器接触工作气体的材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
       金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高,通常在要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。
       其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。
       如:氨气——需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;
       有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶;
       三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。
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