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什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?
2020.04.09
什么是流量计?

    质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温
度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

什么是质量流量控制器?

    质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,
它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力
有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可
以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

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