[产品规格]
*1:SCCM,SLM为气体流量(ml/min ,l/min)的表示记号。 *2:流量精度,直线性,重复性,响应时间为在本公司的测试条件下对校正气体(N2)的保证值。 *3:精度保证温度为23±2℃。 *4:响应时间为上升应答时的流量输出信号到达并稳定在设定值±2%F.S.范围内所需的时间。 响应时间保证温度为23±2℃。 *5:(D)表示差压,(G)表示表压。 *6:由于产品规格不同,工作差压也会有所不同。
[引脚定义]
[外形尺寸]