[产品规格]                                     

*1：SCCM,SLM为气体流量（ml/min ,l/min）的表示记号。
*2：流量精度，直线性，重复性，响应时间为在本公司的测试条件下对校正气体（N2）的保证值。
*3：精度保证温度为23±2℃。
*4：响应时间为上升应答时的流量输出信号到达并稳定在设定值±2%F.S.范围内所需的时间。 响应时间保证温度为23±2℃。
*5：(D)表示差压，(G)表示表压。
*6：由于产品规格不同，工作差压也会有所不同。

[引脚定义]

[外形尺寸]